可实现真空和气氛退火的高精度温控退火炉的研制 |
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引用本文: | 梁玲,顾牡,许伟群,陈玲燕.可实现真空和气氛退火的高精度温控退火炉的研制[J].发光学报,2002,23(6):619-622. |
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作者姓名: | 梁玲 顾牡 许伟群 陈玲燕 |
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作者单位: | 同济大学,玻耳固体物理研究所,上海,200092 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(19774043),上海市教育委员会重点学科研究项目,青年教师项目(01QN18),教育部高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划(教人司(2002)123),骨干教师资助计划项目 |
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摘 要: | 从退火炉的整体构造,管端配件的设计、控温电路和温度程序控制调节器的使用三个方面,介绍了由同济大学玻耳固体物理研究所自行研制的小型高精度温控退火炉装置,并针对典型的晶体退火过程,详细分析了温控系统中PID参数的选取和控温程序的调度工作,通过不同气氛条件下对钨酸铅(PbWO4)的退火处理实验证实,这套装置能够满足晶体生长后期退火处理的实际需要。
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关 键 词: | 气氛退火 高精度 退火炉 研制 可编程温度控制器 PID调节 真空退火 温度控制 退火工艺 |
文章编号: | 1000-7032(2002)06-0619-04 |
修稿时间: | 2002年3月15日 |
Preparation of a Temperature-controlled Annealing Furnace with High Precision and the Debugging of the Temperature Control Program |
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Abstract: | |
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Keywords: | annealing programmable temperature-controller PID adjustment |
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