| 磁控溅射方法生长的氮氧锌薄膜的光学特性 |
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| 引用本文： | 马剑钢,刘益春,张吉英,申德振,吕有明,范希武.磁控溅射方法生长的氮氧锌薄膜的光学特性[J].发光学报,2003,24(3):279-283. |
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| 作者姓名： | 马剑钢 刘益春 张吉英 申德振 吕有明 范希武 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130022 |
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| 基金项目： | 中国科学院百人计划，国家自然科学基金(69896260)资助项目 |
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| 摘 要： | 氧化锌(ZnO)是一种具有六方结构的宽禁带Ⅱ--Ⅵ族半导体材料，室温下能带带隙Eg为3.37eV。由于氧化锌在室温条件下具有较高的激子束缚能(60meV)，保证了其在室温下较强的激子发光。此外氧化锌还具有较高的热稳定性和抗化学腐蚀特性，因而被认为是制作紫外半导体激光器的合适材料。自1997年首次发现ZnO室温紫外受激发射以来，ZnO已成为继GaN之后紫外发射材料的又一研究热点。但是，目前对于p型氧化锌及其发光器件的研究仍处于探索阶段，对其光电特性的研究仍需要更多投入。本文利用磁控溅射方法制备出氮氧锌薄膜样品，并通过在氧气气氛下退火处理，改变薄膜样品中氮的含量。通过X射线衍射谱、X射线光电子能谱、光致发光谱及喇曼光谱的测试，研究了氮在氧化锌薄膜中的含量变化以及氮对氧化锌薄膜的结构和光学特性的影响。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 氮氧锌薄膜 氧化锌 光学特性 薄膜生长 热稳定性 抗化学腐蚀特性 激子 退火 |
| 文章编号： | 1000-7032(2003)03-0279-05 |
| 修稿时间： | 2002年8月15日 |
Optical Properties of Nitride Zinc Oxide Prepared by Radio Frequency Sputtering |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nitride zinc oxide exciton annealing process |
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