| 氧化锌薄膜Zn/O比和发光性能的关系 |
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| 引用本文： | 林碧霞,傅竹西,廖桂红.氧化锌薄膜Zn/O比和发光性能的关系[J].发光学报,2005,26(2):225-228. |
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| 作者姓名： | 林碧霞 傅竹西 廖桂红 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,物理系,安徽,合肥,230026;中国科学技术大学,物理系,安徽,合肥,230026;中国科学技术大学,物理系,安徽,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;中国科学院知识创新工程项目;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 用直流反应溅射在硅基片上生长具有高取向晶粒的氧化锌薄膜，在氧气、氮气、空气气氛和不同温度下进行热处理，对所得到的样品用俄歇谱(AES)仪进行元素深层分布分析，并测量光致发光光谱。研究结果表明：1．经热处理的薄膜表面全部为缺氧表面，不同深度Zn和O含量分布(Zn／O)有所不同；2．当在氧气氛中1000℃下热处理后，在薄膜的深层可产生比较明显的氧过量；而在空气中950℃下热处理后，则可产生局部氧过量；3．光致发光谱表明，薄膜中全部为锌过量时产生纯紫外发射，而具有局部氧过量的薄膜则在产生紫外发射的同时产生绿色发光，绿光和紫外的强度比则随局部氧过量增多而增大。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 俄歇谱 光致发光 锌氧比 |
| 文章编号： | 1000-7032(2005)02-0225-04 |
Effect of Zn/O on Photoluminescence of ZnO on Si |
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| LIN Bi-xia,FU Zhu-xi,LIAO Gui-hong.Effect of Zn/O on Photoluminescence of ZnO on Si[J].Chinese Journal of Luminescence,2005,26(2):225-228. |
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| Authors: | LIN Bi-xia FU Zhu-xi LIAO Gui-hong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO film Auger electron spectrum photoluminescence Zn/O ratio |
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