| 氧，硼，磷掺杂对氢化非晶硅中饵1.54um发光的作用 |
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| 引用本文： | 梁建军,王永谦,等.氧，硼，磷掺杂对氢化非晶硅中饵1.54um发光的作用[J].发光学报,2000,21(3):196-199. |
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| 作者姓名： | 梁建军 王永谦 |
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| 作者单位： | [1]中国科学院半导体研究所，北京100083 [2]中国科学院凝聚态物理中心和表面物理国家重点实验室，北京100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助课题! ( 699760 2 8，6963 60 40 ) |
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| 摘 要： | 利用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）技术生长氧、硼、磷掺杂的氢化非晶硅薄膜。在室温下注入饵离子后研究三种掺杂元素对饵离子发光的作用。室温下观察到很强的光致发光现象。氧的引入并且和饵离子形成发光中心，提高了饵离子的发光强度。退火实验表明氧、硼、磷的掺杂补偿了材料中的缺陷，提高了氢的逃逸温度，改善的热稳性，使材料的退火温度因掺杂元素的加入而提高，饵的发光得到增强。讨论了饵离子的发光机制。
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| 关 键 词： | 饵 氧 硼 磷 发致发光 掺杂 氢化非晶硅 半导体 |
| 修稿时间： | 1999-12-17 |
Influence
of O, B, P on 1.54 |
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| LIANG Jian jun ,WANG Yong qian ,CHEN Wei de ,WANG Zhan guo ,CHANG Yong.Influence
of O, B, P on 1.54[J].Chinese Journal of Luminescence,2000,21(3):196-199. |
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| Authors: | LIANG Jian jun WANG Yong qian CHEN Wei de WANG Zhan guo CHANG Yong |
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| Institution: | LIANG Jian jun 1,2,WANG Yong qian 1,2,CHEN Wei de 1,2,WANG Zhan guo 1,CHANG Yong 3 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Er O B P luminescence hydrogenated amorphous silicon |
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