| 用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜 |
| |
| 引用本文： | 张彬,林碧霞,傅竹西,施朝淑.用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜[J].发光学报,2001,22(3):309-311. |
| |
| 作者姓名： | 张彬 林碧霞 傅竹西 施朝淑 |
| |
| 作者单位： | 中国科学技术大学中国科学技术大学物理系 |
| |
| 基金项目： | 自然科学基金资助项目 ( 5 9872 0 37) |
| |
| 摘 要： | 本文报道了用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜，薄膜具有（002）取向，通过电子扫描显微镜确认晶粒大小在150nm左右，现有的薄膜在525nm处有强的光致发光。
|
| 关 键 词： | 氧化锌薄膜 电子束热蒸发 光致发光光谱 ZnO 薄膜制备 电子扫描显微镜 |
| 文章编号： | 1000-7032(2001)03-0309-03 |
| 修稿时间： | 2001年3月22日 |
Preparation of ZnO Thin Films by Electron Beam Evaporation |
| |
| ZHANG Bin,LIN Bi xia,FU Zhu xi,SHI Chao shu.Preparation of ZnO Thin Films by Electron Beam Evaporation[J].Chinese Journal of Luminescence,2001,22(3):309-311. |
| |
| Authors: | ZHANG Bin LIN Bi xia FU Zhu xi SHI Chao shu |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ZnO thin film electron beam evaporation PL |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
