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| 温度对氮化铝表面形貌的调控及演化机理 | |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室,北京 100083;中国科学院大学 材料与光电研究中心,北京 100049;中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室,北京 100083 |
| 基金项目： | 国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 超宽禁带半导体材料 氮化铝 氢化物气相外延 生长温度 表面形貌 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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