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| 基于旋涂法和电子束蒸发法制备的V_2O_5/Ag/V_2O_5叠层透明导电薄膜 | |
| 引用本文： | 佐婧,郭晓阳,刘星元.基于旋涂法和电子束蒸发法制备的V_2O_5/Ag/V_2O_5叠层透明导电薄膜[J].发光学报,2014,35(3):360. |
| 作者姓名： | 佐婧 郭晓阳 刘星元 |
| 作者单位： | 佐婧:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033中国科学院大学, 北京100049 郭晓阳:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 刘星元:发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金( 61106057) 资助项目 |
| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶技术与电子束蒸镀相结合的方法在常温下制备了叠层V2O5/Ag/V2O5(VAV)透明导电薄膜,研究了各层薄膜厚度对叠层结构光电特性的影响。用原子力显微镜、紫外-可见光分光光度计、四探针电阻仪及开尔文探针对样品的表面形貌、光电性能及功函数等性质进行了表征。实验结果表明,该薄膜具有良好的光学和电学性质,可见光(380~780 nm)平均透过率达75%,迁移率为16.89 cm2/(V·s),载流子浓度为-1.043×1022cm-3,方块电阻值为15.1Ω/□,功函数为5.17 eV。该制备方法降低了V2O5薄膜的工艺制备难度,为该材料在太阳能电池中的应用创造了良好的前期基础。 |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶技术 透明导电薄膜 VO/Ag/VO叠层 |
| 收稿时间： | 2013/10/8 |
V2O5/Ag/V2O5 Multilayer Transparent Conductive Films Based on Sol-gel and Electron Beam Evaporation Techniques |
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| Abstract: | |
| Keywords: | sol-gel technique transparent conductive film V2O5/Ag/V2O5 (VAV) multi-layers |
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