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基于AAO模板的TiO_2微纳结构及其光电特性
引用本文:曹丽芬,卞峰苓,王忆欣,孙胜男,崔海宁.基于AAO模板的TiO_2微纳结构及其光电特性[J].发光学报,2014,35(1):79.
作者姓名:曹丽芬  卞峰苓  王忆欣  孙胜男  崔海宁
作者单位:曹丽芬:吉林大学 物理学院, 吉林 长春 130012
卞峰苓:吉林大学 物理学院, 吉林 长春 130012
王忆欣:吉林大学 物理学院, 吉林 长春 130012
孙胜男:吉林大学 物理学院, 吉林 长春 130012肇庆学院 电子信息与机电工程学院, 广东 肇庆 526061
崔海宁:吉林大学 物理学院, 吉林 长春 130012肇庆学院 电子信息与机电工程学院, 广东 肇庆 526061
基金项目:国家自然科学基金委员会与中国民航局联合资助项目(61179055); 广东省科技计划项目重点专项(2012B040303007); 广东省教育厅人才专项资金 (2013-zqxy05)资助项目
摘    要:以多孔氧化铝(AAO)和导电玻璃FTO为基底,用射频(RF)磁控溅射法和溶胶凝胶(Sol-gel)法分别制备了微纳结构的TiO2,两种TiO2沉积技术各自体现出其特质。从XRD衍射光谱和拉曼散射光谱可以看到,在相同退火条件下,RF和Sol-gel法制备的TiO2晶相结构不同。在以导电玻璃FTO为基底时,RF制备的薄膜颗粒分布均匀,没有团簇现象;而Sol-gel制备的薄膜由密实的颗粒构成。在以AAO为模板时,Sol-gel制备的TiO2溶胶粒子由于胶体溶液的流动性使其对孔的填充率保持较高的水平;而RF制备的TiO2对孔的填充率则降低。光电流实验的结果表明,前者具有更好的光电特性。

关 键 词:RF磁控溅射  溶胶凝胶  多孔氧化铝  TiO/AAO
收稿时间:2013/8/8

TiO2 Micro-structure and Photocurrent Characteristics Based on AAO Template
Abstract:
Keywords:RF sputtering  sol-gel  AAO  TiO2/AAO
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