| P-MBE制备氮掺杂p型ZnO中空穴的散射机制 |
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| 引用本文： | 孙建武,吕有明,刘益春,申德振,张振中,李炳辉,张吉英,姚斌,赵东旭,范希武.P-MBE制备氮掺杂p型ZnO中空穴的散射机制[J].发光学报,2008,29(3). |
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| 作者姓名： | 孙建武 吕有明 刘益春 申德振 张振中 李炳辉 张吉英 姚斌 赵东旭 范希武 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;中国科学院,研究生院,北京,100049
2. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 利用等离子体辅助的分子束外延(P-MBE)技术,在蓝宝石衬底上制备了氮掺杂的p型ZnO薄膜。通过变温霍尔测量研究了空穴浓度和迁移率随温度的变化特性。对载流子浓度拟合的结果表明氮受主具有75meV的能级深度。通过对各种散射机制下迁移率的讨论,发现由晶粒及其晶界组成的这种结构极大地降低了p型ZnO中载流子的迁移率。
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| 关 键 词： | 氧化锌 p型掺杂 散射机制 P-MBE |
Hole Scattering Mechanisms in Nitrogen-doped p-type ZnO Films Grown by Plasma-assisted Molecular Beam Epitaxy |
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| SUN Jian-wu,LU You-ming,LIU Yi-chun,SHEN De-zhen,ZHANG Zhen-zhong,LI Bing-hui,ZHANG Ji-ying,YAO Bin,ZHAO Dong-xu,FAN X W.Hole Scattering Mechanisms in Nitrogen-doped p-type ZnO Films Grown by Plasma-assisted Molecular Beam Epitaxy[J].Chinese Journal of Luminescence,2008,29(3). |
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| Authors: | SUN Jian-wu LU You-ming LIU Yi-chun SHEN De-zhen ZHANG Zhen-zhong LI Bing-hui ZHANG Ji-ying YAO Bin ZHAO Dong-xu FAN X W |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO p-type doping scattering mechanisms P-MBE |
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