| 射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的绿光发射 |
| |
| 引用本文： | 王卿璞,张德恒,马洪磊,张兴华,张锡健.射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的绿光发射[J].发光学报,2004,25(3):291-294. |
| |
| 作者姓名： | 王卿璞 张德恒 马洪磊 张兴华 张锡健 |
| |
| 作者单位： | 山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 ( 60 0 760 0 6)，教育部博士项目基金 ( 2 0 0 0 0 42 2 0 4)资助项目 |
| |
| 摘 要： | 用射频磁控溅射法，在硅衬底上制备出具有良好的(002)择优取向的多晶ZnO薄膜。研究了室温下薄膜的光致发光特性，观察到显著的单绿光发射(波长为514nm)峰。在氧气中830℃高温退火后，薄膜结晶质量明显提高，绿光发射峰强度变弱；在真空中830℃高温退火后，绿光发射峰强度增加。绿光发射源于氧空位深施主能级到价带顶的电子跃近。
|
| 关 键 词： | ZnO薄膜 磁控溅射 绿光发射 |
| 文章编号： | 1000-7032(2004)03-0291-04 |
| 修稿时间： | 2003年3月18日 |
Green Photoluminescence Emitted from ZnO Films Deposited by r.f.Magnetron Sputtering |
| |
| WANG Qing pu,ZHANG De heng,MA Hong lei,ZHANG Xing hua,ZHANG Xi jian.Green Photoluminescence Emitted from ZnO Films Deposited by r.f.Magnetron Sputtering[J].Chinese Journal of Luminescence,2004,25(3):291-294. |
| |
| Authors: | WANG Qing pu ZHANG De heng MA Hong lei ZHANG Xing hua ZHANG Xi jian |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ZnO films magnetron sputtering green PL |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
