| 图形反转工艺制作OLED器件的阴极分离器 |
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| 引用本文： | 王军,杨刚,蒋亚东,于军胜,林慧,成建波.图形反转工艺制作OLED器件的阴极分离器[J].发光学报,2007,28(2):198-202. |
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| 作者姓名： | 王军 杨刚 蒋亚东 于军胜 林慧 成建波 |
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| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | 电子科技大学-浙江阳光集团联合资助项目 |
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| 摘 要： | 应用AZ5214光刻胶的反转特性,在玻璃基板上制作OLED器件的阴极分离器。指出影响倒梯形形状的主要因素为涂胶厚度、曝光量和反转烘烤。SEM测试表明分离器的断面呈倒梯形,倾角约为45°,胶厚3μm。得到了优化的制备分离器工艺参数:匀胶转速1200r/min,烘烤温度100℃,时间90s,曝光时间0.8s,反转烘温度125℃,时间45s,泛曝光时间5.5s,显影时间40s。
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| 关 键 词： | 有机发光二极管 阴极分离器 图形反转 光刻 倒梯形 |
| 文章编号： | 1000-7032（2007）02-0198-05 |
| 修稿时间： | 2006-07-27 |
Fabricating Cathode Separator for OLED by Image Reverse Technique |
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| WANG Jun,YANG Gang,JIANG Ya-dong,YU Jun-sheng,LIN Hui,CHENG Jian-bo.Fabricating Cathode Separator for OLED by Image Reverse Technique[J].Chinese Journal of Luminescence,2007,28(2):198-202. |
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| Authors: | WANG Jun YANG Gang JIANG Ya-dong YU Jun-sheng LIN Hui CHENG Jian-bo |
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| Institution: | State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, School of Optoelectronic Information, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | OLED cathode separator image reverse photolithography reverse trapeziform shape |
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