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| 微加工静电超声传感器的动力学机制及其建模 * | |
| 引用本文： | 葛立峰.微加工静电超声传感器的动力学机制及其建模 *[J].中国科学A辑,1999,29(11):1013-1019. |
| 作者姓名： | 葛立峰 |
| 作者单位： | 安徽大学自动化系 合肥230039 |
| 摘 要： | 通过对微加工静电超声传感器的动力学机制的深入研究发展了一个空气弹簧支撑的张力板模型 (tensile-plate-on-air-spring,简称为TDK模型 ) .该模型全面计及了气隙空气弹簧的刚度 ,膜片的弯曲刚度和平面张力这三个机械刚度及一个静电负刚度的影响 .根据这个模型通过适当选用传感器的几何结构 ,尺寸和材料 ,便可获得所需要的基频和带宽 ,从而为微加工超声传感器的研究和优化设计提供了一个可靠的理论基础 . |
| 关 键 词： | 静电超声传感器 微气隙结构 动力学机制 模型 |
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