| 激光分子束外延制备高质量的YBCO超导薄膜 |
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| 引用本文： | 陈凡,吕惠宾,赵彤,王荣平,周岳亮,陈正豪,杨国桢.激光分子束外延制备高质量的YBCO超导薄膜[J].中国科学A辑,2001,31(5):433-438. |
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| 作者姓名： | 陈凡 吕惠宾 赵彤 王荣平 周岳亮 陈正豪 杨国桢 |
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| 作者单位： | (1)中国科学院物理研究所,中国科学院凝聚态物理中心，北京100080 ,中国 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划资助项目(批准号：
G1998061412)和国家“八六三”资助项目(批准号： 863-CD070103) |
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| 摘 要： | 利用活化气体做氧源,使生长气压比普通脉冲激光沉积方法(PLD)低2～3个数量级,用激光分子束外延在SrTiO3(100)衬底上制备出临界转变温度Tc0=85～87K,临界电流密度Jc≥1×106A/cm2的高质量YBCO超导薄膜.原子力显微镜(AFM)测得表面无明显颗粒,均方根粗糙度约为7.8nm.在这种薄膜基础上制备的Josephson量子干涉器件(DC-SQUID)具有良好的温度循环稳定性.
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| 关 键 词： | 激光分子束外延 活化气体 均方根粗糙度 颗粒 YBCO超导薄膜 |
| 收稿时间： | 2001-01-05 |
| 修稿时间： | 2001年1月5日 |
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