| 气体原子对多层膜X射线反射特性的影响 |
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| 引用本文： | 冯仕猛,赵海鹰,范正修,邵建达,窦晓鸣.气体原子对多层膜X射线反射特性的影响[J].中国科学A辑,2002,32(10):865-869. |
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| 作者姓名： | 冯仕猛 赵海鹰 范正修 邵建达 窦晓鸣 |
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| 作者单位： | (1)上海交通大学物理系, ,上海 200240 ,中国;(2)中国科学院上海光学精密机械研究所, ,上海 201800 ,中国 |
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| 基金项目： | 国家"八六三"基金资助项目 |
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| 摘 要： | 多层膜中气体原子能够增加入射 X射线散射, 减低多层膜衍射反射率. 当薄膜有气体原子存在时, 通常用平均散射因子代替本体材料散射因子计算薄膜的光学常数. 这样的处理方法是非常简单的, 鉴于此, 提出了一新方法研究气体原子对薄膜X射线反射特性的影响. 理论分析表明: 气体原子对薄膜反射特性的影响与掠入射角度、波长有关. 波长越短和掠入射角度越大, 气体原子的影响就越大, 反之就越小. 实验结果证明理论分析是正确的.
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| 关 键 词： | 多层膜 反射率 气体原子 |
| 收稿时间： | 2002-06-11 |
| 修稿时间： | 2002年6月11日 |
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