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| 多层簿膜厚度XQMA测定及Monte Carlo计算方法 | |
| 引用本文： | 何延才,陈家光,王心磊,马业明.多层簿膜厚度XQMA测定及Monte Carlo计算方法[J].中国科学A辑,1990,33(7):757-761. |
| 作者姓名： | 何延才 陈家光 王心磊 马业明 |
| 作者单位： | (1) 中国科学院上海硅酸盐研究所 上海 200050 (2) 上海宝山钢铁总厂钢铁研究所 上海 200940 |
| 摘 要： | 本文提出了应用X射线显微分析实验及Monte Carlo模拟计算电子散射、X射线激发来确定多层薄膜样品每一层厚度的方法.在几种加速电压下,对不同组成、不同厚度的多层膜进行了测定,所得结果与核背散法测定值一致.相对误差小于10％.文中给出了计算程序流程图. |
| 关 键 词： | 多层薄膜厚度 电子散射 X射线显微分析 Monte Carlo模拟 |
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