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外延生长YBa2Cu3O7-x超导薄膜的TEM和SEM研究
引用本文:李贻杰,任琮欣,陈国梁,邹世昌.外延生长YBa2Cu3O7-x超导薄膜的TEM和SEM研究[J].中国科学A辑,1993,36(1):92-96.
作者姓名:李贻杰  任琮欣  陈国梁  邹世昌
作者单位:中国科学院上海冶金研究所所离子束开放实验室 上海 200050
摘    要:本文利用高分辨率透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)对高Jc外延生长YBa2Cu3O7-x超导薄膜的微观结构进行了观察分析.研究发现,薄膜外延程度的好坏与生长工艺和衬底表面的完整性有直接的关系.实验结果表明(100)SrTiO3单晶衬底上外延生长YBa2Cu3O7-x超导薄膜中影响临界电流密度Jc的因素主要有界面过渡区、缺陷和不同的外延取代等.

关 键 词:YBa2Cu3O7-x  外延生长  HREM  缺陷
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