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P型多晶金刚石薄膜压阻效应的研究 *
引用本文:
方 亮 王万录** 丁培道 廖克俊 王 健.P型多晶金刚石薄膜压阻效应的研究 *[J].中国科学A辑,1999,29(6):542-549.
作者姓名:
方
亮
王万录**
丁培道
廖克俊
王
健
作者单位:
1 重庆大学理学院应用物理系, 重庆400044
2 重庆大学材料学院材料学系, 重庆400044
摘 要:
结合Mayadas-Shatzkes多晶模型 ,对硼掺杂多晶金刚石薄膜的压阻效应进行了分析和讨论 .结果认为 ,价带分裂和晶界散射的联合作用是导致P型多晶金刚石薄膜具有显著压阻效应的主要原因 .推导出考虑晶界散射时压阻因子的近似计算公式 ,计算结果与实际情况相符 .
关 键 词:
金刚石薄膜
压阻效应
晶界散射
价带分裂
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