光电关联显微镜技术快速定位样品台的设计及应用

光电关联显微镜技术结合了光学显微镜与电子显微分析技术，可获得样品同一位置的光学图像和高分辨电子图像，以实现更全面准确的样品表征，因而被广泛应用于材料科学、光学工程等学科.相较于传统非联用技术，光电关联显微镜技术可快速获取同一区域样品对应的光学图像、电子图像以及光谱信息等样品特征.为此，通过微纳加工技术制备了带有快速定位功能的光电关联显微镜样品台，结合能谱定位系统实现特定区域样品快速定位、跨尺度多维度表征，对相关科研工作具有重要意义.