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硅片绒面形貌影响光线反射的数值研究
引用本文:邱明波,黄因慧,刘志东,田宗军,汪炜.硅片绒面形貌影响光线反射的数值研究[J].光学学报,2008,28(12):2394-2399.
作者姓名:邱明波  黄因慧  刘志东  田宗军  汪炜
作者单位:1. 南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室,江苏,南京,210016;南京航空航天大学机电学院,江苏,南京,210016
2. 南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室,江苏,南京,210016
3. 南京航空航天大学机电学院,江苏,南京,210016
基金项目:江苏省高技术研究计划(BG2007004)资助课题
摘    要:太阳能硅片表面绒面的光陷阱可以使光在其中经历多次反射,从而尽量减少光的反射损耗.不同光陷阱的形貌决定了光的不同多次反射路径而具有不同的反射效果.为了研究光陷阱形貌及光线入射角对减反射效果的影响,提出了数值仿真计算的方法跟踪每一条光线的反射过程计算加权出射系数.从而可以计算分析复杂形貌绒面的减反射效果并给出合理的优化方法,为制备高性能绒面结构提供理论依据.当光陷阱尺寸小于入射光线波长时,发生镜反射,将该尺寸的结构平滑处理.然后从光陷阱的深径比、高度、密度等方面计算分析光在不同入射角的情形下的加权出射系数.提出了理想的绒面光陷阱形貌,及获得最佳反射效果的入射角度.最后计算碱腐蚀及电火花加工产生的两种典型绒面的加权出射系数,并利用实验测量值验证了该计算方法.

关 键 词:表面光学  太阳能电池  减反射  跟踪计算  光陷阱  入射角
收稿时间:2008/4/1

Numerical Study on Effect of Silicon Texture Structure on Reflectance of Light
Qiu Mingbo,Huang Yinhui,Liu Zhidong,Tian Zongjun,Wang Wei.Numerical Study on Effect of Silicon Texture Structure on Reflectance of Light[J].Acta Optica Sinica,2008,28(12):2394-2399.
Authors:Qiu Mingbo  Huang Yinhui  Liu Zhidong  Tian Zongjun  Wang Wei
Institution:Qiu Mingbo1,2 Huang Yinhui1 Liu Zhidong1,2 Tian Zongjun2 Wang Wei21Jiangsu Key Laboratory of Precision , Micro-Manufacturing Technology,Nanjing University of Aeronautics, Astronautics,Nanjing,Jiangsu 210016,China2College of Mechanical , Electrical Engineering,Nanjing University of Aeronautics , Astronautics,China
Abstract:The light trap on texture of silicon wafer surface makes the light reflect many times when it enters,and declines energy loss of light,and different structure of light trap produces different transmission path which makes a different effect of light reflectance. To study how structure of light trap and incident angle affect reflectance of light,a numerical method was proposed. Every light transmission process was tracked and then the weighted coefficient of reflectance of all lights was calculated. Subseque...
Keywords:surface optics  solar cell  anti-reflectance  tracing calculation  light trap  incident angle  
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