| 百焦耳级KrF准分子激光装置设计与调试 |
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| 引用本文： | 单玉生 王乃彦. 百焦耳级KrF准分子激光装置设计与调试[J]. 强激光与粒子束, 1993, 5(1): 5-15 |
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| 作者姓名： | 单玉生 王乃彦 |
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| 作者单位： | 中国原子能科学研究院，中国原子能科学研究院，中国原子能科学研究院，中国原子能科学研究院，中国原子能科学研究院，中国原子能科学研究院，中国原子能科学研究院，中国原子能科学研究院，中国原子能科学研究院，中国原子能科学研究院，中国原子能科学研究院 北京275信箱7分箱 102413，北京275信箱7分箱 102413，北京275信箱7分箱 102413，北京275信箱7分箱 102413，北京275信箱7分箱 102413，北京275信箱7分箱 102413，北京275信箱7分箱 102413，北京275信箱7分箱 102413，北京275信箱7分箱 102413，北京275信箱7分箱 102413，北京275信箱7分箱 102413 |
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| 基金项目： | 国家高技术强激光领域资助课题 |
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| 摘 要： | 首先用解析方法分析了提高激光输出能量的途径。其次用分析和反应动力学模拟计算相结合方法给出激光腔设计参数。并给出二极管、电子束传输系统以及变阻抗线预脉冲开关等设计参数。根据这些参数对百焦耳准分子激光器进行了工程设计。在安装调试时,采用单元安装、逐级调试然后总调。在调试中解决了阴极边缘电子发射和沿径向有机玻璃绝缘板表面的沿面滑闪等问题。在Marx电压1.1MV,主膜为50μmTi箔,二极管电压为620kV,电子束流为160kA,束能8kJ条件下,当腔内总气压为0.25MPa、气体混合比为F_2Kr:Ar=0.4:10:89.6,谐振腔全反镜反射率为96％,输出镜透射率为75％时,获得稳定、重复100JKrF激光输出能量。
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| 关 键 词： | 氟化氪 准分子激光 谐振腔 激光器 |
DESIGN AND ADJUSTMENT OF A 100 LEVEL KrF EXCIMER LASER |
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| Shan Yusheng,Wang Naiyan,Zeng Naigong,Zhou Chuangzhi,Yang Dawei,Ma Weiyi,Kang Xiangdong,Huang Debao,Wang Wenchang,Wang Xiaojun,and Wang GanchangChina Institute of Atomic Energy,P.O.Box. DESIGN AND ADJUSTMENT OF A 100 LEVEL KrF EXCIMER LASER[J]. High Power Laser and Particle Beams, 1993, 5(1): 5-15 |
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| Authors: | Shan Yusheng Wang Naiyan Zeng Naigong Zhou Chuangzhi Yang Dawei Ma Weiyi Kang Xiangdong Huang Debao Wang Wenchang Wang Xiaojun and Wang GanchangChina Institute of Atomic Energy P.O.Box |
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| Abstract: | A 100-J KrF laser facility is introduced in this paper.The Marx and diode voltages are 1.1MV and 620kV, respectively, with a diode current of 160kA and e- beam energy of 8kJ. The total gas pressure is 0.25MPa (F2 : Kr : Ar = 0.4 : 10 : 89.6). The reflectivities of the laser cavity mirrors are 96% and 25%, respectively. |
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| Keywords: | KrF laser pulse power technology large area e-beam diode high-current e-beam excimer laser oscillator. |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
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