| 一种近似计算金属多层膜界面过渡层厚度的方法 |
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| 引用本文： | 冯仕猛,易葵,邵建达,范正修. 一种近似计算金属多层膜界面过渡层厚度的方法[J]. 光学学报, 2000, 20(9): 208-1212 |
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| 作者姓名： | 冯仕猛 易葵 邵建达 范正修 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 基金项目： | 国家科委 86 3高科技项目 |
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| 摘 要： | 在用小角射线衍射研究离子束溅射法制备的多层膜基本结构时，提出了一个可以计算界面过渡层厚度公式。由实验曲线和文中提出公式得到过渡层厚度，并与用实验曲线和理论曲线进行拟合所得值进行了对比，结果表明这两种方法得到的过渡层厚度基本一致。
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| 关 键 词： | 多层膜 小角衍射 过渡层厚度 金属 |
| 收稿时间： | 1999-03-18 |
An Approximate Method for Calculating Thickness of Metal Multilayer Interface |
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| Feng Shimeng,Yi Kui,Shao Jianda,Fan Zhenxiou. An Approximate Method for Calculating Thickness of Metal Multilayer Interface[J]. Acta Optica Sinica, 2000, 20(9): 208-1212 |
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| Authors: | Feng Shimeng Yi Kui Shao Jianda Fan Zhenxiou |
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| Abstract: | The metal multilayers were sputtering deposited on K 9 glass, and their simple structural parameters were obtained by the small angle X ray diffraction. A formula for calculating the thickness of transfer layers is proposed, and the calculated results of samples is presented. Compared to the results obtained from the fitting method, these results are similar. |
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| Keywords: | multilayer small angle X ray diffraction thickness of interface. |
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