电子阻挡层Al组分对GaN基蓝光激光二极管光电性能的影响 |
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作者姓名: | 杜小娟 刘晶 董海亮 贾志刚 张爱琴 梁建 许并社 |
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作者单位: | 太原理工大学 材料科学与工程学院, 山西 太原 030024,航天科工防御技术研究试验中心, 北京 100854,太原理工大学 新材料界面科学与工程教育部重点实验室, 山西 太原 030024,太原理工大学 轻纺工程学院, 山西 太原 030024,太原理工大学 新材料界面科学与工程教育部重点实验室, 山西 太原 030024;陕西科技大学 材料原子·分子科学研究所, 陕西 西安 710021 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(61904120,21972103);;国家重点研发计划(2016YFB0401803); |
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摘 要: | 采用SiLENSe(Simulator of light emitters based on nitride semiconductors)软件仿真研究了AlxInyGa1-x-yN电子阻挡层(EBL)Al组分渐变方式对GaN基激光二极管(LD)光电性能的影响,实现了提高输出功率和电光转换效率的目的。文中提出的四种Al组分渐变方式分别是传统均匀组分、右阶梯渐变组分(0~0.07~0.16)、三角形渐变组分(0~0.16~0)、左阶梯渐变组分(0.16~0.07~0)。结果表明,与传统均匀组分EBL结构相比,Al组分阶梯渐变AlxInyGa1-x-yN EBL LD导带底的电子势垒显著提高,价带顶的空穴势垒降低。这主要是由于该结构能有效抑制电子泄漏和提高空穴注入效率,从而提高有源区载流子浓度,进而提高有源区辐射复合效率。当注入电流为0.48 A时,采用Al组分阶梯渐变AlxInyGa1-x-y...
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关 键 词: | GaN基蓝光激光二极管 电子阻挡层 Al组分 光电性能 |
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