| 一种新的光学角度测量与补偿 |
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| 引用本文： | 宋继东,张万祯,林斌.一种新的光学角度测量与补偿[J].光子学报,2011,40(3):354-357. |
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| 作者姓名： | 宋继东 张万祯 林斌 |
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| 作者单位： | 浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,国家光学仪器工程技术研究中心,浙江大学台州研究院,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 台州市与浙江大学科技合作专项资金 |
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| 摘 要： | 石英晶体在切片过程中由于加工误差会引起两表面的不平行,从而影响对其晶向的判断.为了弥补这种缺陷,需要对上下两表面的倾角进行测量.本文对全自动X射线分选仪的晶体倾角测量问题进行了研究,用位置灵敏探测器探测被晶体反射的激光光斑,推导出了位置灵敏探测器探测到的坐标点随上下晶面夹角的关系式,并进一步分析了不同入射角,不同晶体厚...
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| 关 键 词： | X射线分选仪 角度补偿 位置灵敏探测器 分辨率 测量范围 |
A New Optical Angle Measurement and Compensation |
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| SONG Ji-dong,ZHANG Wan-zhen,LIN Bin.A New Optical Angle Measurement and Compensation[J].Acta Photonica Sinica,2011,40(3):354-357. |
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| Authors: | SONG Ji-dong ZHANG Wan-zhen LIN Bin |
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