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| 半导体分析 | |
| 引用本文： | 久我和夫,廖南连.半导体分析[J].分析试验室,1985(12). |
| 作者姓名： | 久我和夫 廖南连 |
| 摘 要： | 一、前言从各种电子材料的分析中,本文拟就硅半导体、化合物半导体有关的分析作一综述。在半导体工业领域,当前需要研究的课题有以下几个方面。与器件有关的有:逻辑元件高速化,存储元件超高集成化,光电元件高性能化,研制以新概念为基础的新型器件等;与工艺有关的有:欲达到上述目的的微加工技术以及与其相应的净化技术,高纯预处理技术等;与单晶、 |
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