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| 基于干涉仪测量的变形镜面形展平标定研究 | |
| 作者姓名： | 林旭东 刘欣悦 王建立 卫沛锋 王富国 |
| 作者单位： | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划 |
| 摘 要： | 为了全面地了解变形镜的性能,以便自适应光学系统更好地工作,进行了基于干涉仪测量的变形镜面形展平标定研究.首先,给变形镜的压电陶瓷驱动器施加一半的控制电压;再用Zygo干涉仪测得变形镜的面形,计算对应各个驱动器位置的镜面高度,并算得各个位置镜面高度相对平均镜面高度的偏差;最后,控制驱动器运动使偏差量为零.测试及实验表明,受压电陶瓷迟滞的影响,上述过程需要迭代4到6次镜面面形才会收敛到希望的准确度;对镜面周边无驱动器约束的21单元变形镜,展平之后其80%口径的面形接近 |
| 关 键 词： | 自适应光学 变形镜 展平标定 干涉仪 |
| 收稿时间： | 2012-02-06 |
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