| 纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能 |
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| 引用本文： | 蒋锐, 胡小方, 许晓慧, 伍小平. 纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能[J]. 实验力学, 2007, 22(6): 575-580. doi: 10.3969/j.issn.1001-4888.2007.06.004 |
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| 作者姓名： | 蒋锐 胡小方 许晓慧 伍小平 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027;; 中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027;; 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,合肥,230027;; 中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027 |
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| 摘 要： | PZT压电薄膜的力学性能如弹性模量、硬度等对于MEMS器件的结构设计、结构响应特性、服役性能等尤为重要.薄膜材料由于尺寸效应、表面效应等的作用,力学性能与宏观块体材料有显著差异.本文用纳米压痕法获得了PZT压电薄膜的弹性模量和硬度,考察了基底的影响,分析了退火时间对于其力学性能的影响,以及硬度和压入深度之间的压痕尺度效应.
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| 关 键 词： | PZT压电薄膜 纳米压痕法 压痕尺度效应 |
| 文章编号： | 1001-4888（2007）06-0575-06 |
| 收稿时间： | 2007-01-11 |
| 修稿时间： | 2007-12-03 |
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