| 电子束蒸发制备ZnO:Al透明导电膜及其性能研究 |
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| 引用本文： | 王子健,王海燕,郜小勇,吴芳,李红菊,杨根,刘绪伟,卢景霄.电子束蒸发制备ZnO:Al透明导电膜及其性能研究[J].人工晶体学报,2006,35(6):1355-1358,1367. |
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| 作者姓名： | 王子健 王海燕 郜小勇 吴芳 李红菊 杨根 刘绪伟 卢景霄 |
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| 作者单位： | 郑州大学物理工程学院,材料物理教育部重点实验室,郑州,450052 |
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| 摘 要： | 在本实验中我们利用电子束蒸发方法在玻璃衬底上制备了ZnO:A l透明导电膜,并对所得样品在400℃下进行了退火处理。利用扫描电子显微镜观察了样品的表面形貌,利用分光光度计分析了样品的光学性质,结果表明所得样品在可见光范围具有较好的透光性。利用四探针对其进行了电学性质的测量,表明衬底温度为200℃时制备的样品电阻率可达6×10-3Ω.cm。
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| 关 键 词： | 电子束蒸发 ZnO∶Al薄膜 衬底温度 |
| 文章编号： | 1000-985X（2006）06-1355-04 |
| 收稿时间： | 2006-02-28 |
| 修稿时间： | 2006-02-282006-07-19 |
Research in Electrical and Optical Properties of ZnO:Al Films Prepared by Electron Beam Evaporation |
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| WANG Zi-jian,WANG Hai-yan,GAO Xiao-yong,WU Fang,LI Hong-ju,YANG Gen,LIU Xu-wei,LU Jing-xiao.Research in Electrical and Optical Properties of ZnO:Al Films Prepared by Electron Beam Evaporation[J].Journal of Synthetic Crystals,2006,35(6):1355-1358,1367. |
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| Authors: | WANG Zi-jian WANG Hai-yan GAO Xiao-yong WU Fang LI Hong-ju YANG Gen LIU Xu-wei LU Jing-xiao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electron beam evaporation ZnO:Al films substrate temperature |
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