| 铬原子感生荧光稳频频率稳定性的分析 |
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| 引用本文： | 张彤,殷聪,赵跃进,钱进,王建波,石春英.铬原子感生荧光稳频频率稳定性的分析[J].光学技术,2019,45(3):257-262. |
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| 作者姓名： | 张彤 殷聪 赵跃进 钱进 王建波 石春英 |
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| 作者单位： | 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京100081;中国计量科学研究院长度所长度量子实验室,北京100029;中国计量科学研究院长度所长度量子实验室,北京,100029;北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京,100081 |
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| 摘 要： | 激光会聚铬原子沉积实验所需时间可长达几十分钟至几个小时,实验过程中要求激光频率的波动小于5MHz,感生荧光稳频技术能够解决原子沉积实验中激光频率漂移的问题。为了保证激光频率的长时间稳定性,对稳频系统的误差信号随激光功率及原子炉温度的变化情况进行了研究。结果显示,在光强为8mW,原子炉温度为1923K时,激光频率的长期漂移可抑制到最小,在200分钟内的频率波动仅有±0.6MHz。同时,重复实验的结果也表明稳频系统具有很好的稳定性,从而为原子沉积技术提供了保障,并提高了沉积实验的重复性。
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| 关 键 词： | 激光稳频 感生荧光 原子光刻 |
Characterization of frequency stabilization based on laser induced fluorescence in laser-focused atomic deposition with chromium |
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