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对铁磁靶的磁控管溅射系统的计算机分析

引用本文：	蔚然.对铁磁靶的磁控管溅射系统的计算机分析[J].等离子体应用技术快报,2000(1):21-22.

作者姓名：	蔚然

摘要：
关键词：	铁磁靶磁控管溅射系统计算机
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