| 基于机械-化学的方法在硅表面制造功能化结构 |
| |
| 作者姓名： | 史立秋 闫永达 王风 孙涛 董申 |
| |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨150001,哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨150001,哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨150001,哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨150001,哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨150001 |
| |
| 摘 要： | "利用机械与化学结合的方法在芳烃重氮盐溶液中用金刚石刀具切削硅片,使得芳香烃分子和硅之间以共价键连接,实现了对硅片的"成形并功能化"的一步完成．研究了在大气环境如何利用金刚石刀具在硅表面加工出表面质量较好的微结构,为下一步在溶液中"成形并功能化"硅提供好的基底．在溶液中对硅表面进行可控自组装实验,初步研究了切削速度和组装时间对切削处生成自组装膜质量的影响,总结出较适合膜生长的参数．用X射线光电子能谱对自组装膜进行了检测,用扫描电子显微镜和原子力显微镜对自组装膜的表面形貌进行了表征,并用原子力显微镜对自
|
| 关 键 词： | 机械化学方法 功能化硅表面 自组装 自组装膜分析 |
| 收稿时间： | 2007-07-30 |
| 修稿时间： | 2007-08-02 |
|
| 点击此处可从《化学物理学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《化学物理学报》下载全文 |
|
