| 纳米压痕残余应力场拉曼光谱实验研究 |
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| 引用本文： | 韩月涛,李秋,富东慧.纳米压痕残余应力场拉曼光谱实验研究[J].实验力学,2015,30(1):1-8. |
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| 作者姓名： | 韩月涛 李秋 富东慧 |
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| 作者单位： | 天津市现代工程力学重点实验室, 天津大学, 天津300072;天津市高速切削与精密加工重点实验室, 天津职业技术师范大学, 天津300222;天津市现代工程力学重点实验室, 天津大学, 天津300072 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(2012CB937500), 国家自然科学基金(11372217和11002097)资助 |
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| 摘 要： | 本文采用纳米压入仪在晶向为〈111〉和〈100〉的两种单晶硅片表面压入1000nm,卸载后得到深度约为550~570nm的压痕。使用共聚焦显微拉曼光谱仪对压痕周边区域进行测量,采用场扫描成像技术得到了压痕周边拉曼频移、半高宽、峰强等拉曼信息,通过分析由频移求得残余应力场的分布。在实验的基础上讨论了残余应力场的分布,以及晶向对应力场分布的影响,近似给出了压痕边缘最大压应力与微裂纹尖端最大拉应力。对其他拉曼信息的分析表明,半高宽和峰强信息与材料晶格结构的变化相关,在一定程度上也可以反映残余应力的作用。
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| 关 键 词： | 纳米压痕 拉曼光谱成像 残余应力 晶格结构 |
Experimental Study of Raman Spectroscopy on Nano-indentation Residual Stress Field |
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| HAN Yue-tao,LI Qiu and FU Dong-hui.Experimental Study of Raman Spectroscopy on Nano-indentation Residual Stress Field[J].Journal of Experimental Mechanics,2015,30(1):1-8. |
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| Authors: | HAN Yue-tao LI Qiu and FU Dong-hui |
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| Institution: | Tianjin Key Laboratory of Modern Engineering Mechanics, Tianjin University, Tianjin 300072, China;Tianjin Key Laboratory of High Speed Cutting and Precision Machining, Tianjin University of Technology and Education, Tianjin 300222, China;Tianjin Key Laboratory of Modern Engineering Mechanics, Tianjin University, Tianjin 300072, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Nano-indentation Raman imaging residual stress lattice structure |
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