| 基于磁控溅射离子镀技术的不同晶态纯Cr薄膜微观组织结构研究 |
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| 引用本文： | 李洪涛,蒋百灵,杨波,曹政.基于磁控溅射离子镀技术的不同晶态纯Cr薄膜微观组织结构研究[J].人工晶体学报,2011,40(2):532-536. |
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| 作者姓名： | 李洪涛 蒋百灵 杨波 曹政 |
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| 作者单位： | 西安理工大学材料科学与工程学院,西安,710048 |
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| 基金项目： | 陕西省重点学科建设专项资金，西安理工大学优秀博士学位论文研究基金 |
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| 摘 要： | 基于磁控溅射离了镀技术,制备了不同晶态结构的纯Cr薄膜,分析了电场环境对纯Cr薄膜品态结构影响的客观规律;结合溅射原理和薄膜生长原理揭示了电场环境对纯Cr薄膜生长过程影响的内在机理;探讨了磁控溅射离子镀技术在工程材料的纳米化、非晶化进程中应有的功能,旨在为纳米材料的研发及其制备技术的创新提供参考依据.
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| 关 键 词： | 柱状晶 等轴晶 纳米晶 非晶 |
Study on Microstructures of Pure Cr Films with Different Crystalline Deposited by Magnetron Sputter Ion Plating |
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| LI Hong-tao,JIANG Bai-ling,YANG Bo,CAO Zheng.Study on Microstructures of Pure Cr Films with Different Crystalline Deposited by Magnetron Sputter Ion Plating[J].Journal of Synthetic Crystals,2011,40(2):532-536. |
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| Authors: | LI Hong-tao JIANG Bai-ling YANG Bo CAO Zheng |
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