| 电子回旋共振等离子体源的数值模拟 |
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| 引用本文： | 刘明海,胡希伟,邬钦崇,俞国扬.电子回旋共振等离子体源的数值模拟[J].物理学报,2000,49(3):497-501. |
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| 作者姓名： | 刘明海 胡希伟 邬钦崇 俞国扬 |
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| 作者单位： | (1)中国科学技术大学近代物理系,合肥230026; (2)中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031; (3)中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031 中国科学技术大学近代物理系,合肥230026 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金!(批准号 :6 9493 5 0 0和 1980 5 0 0 8) 中国博士后科学基金! (批准号 :9 1998)资助的课题 |
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| 摘 要： | 采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(中性气压和微波功率)变化呈现出区域特征、饱和现象和振荡行为等非线性现象
关键词：
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| 关 键 词： | 电子回旋共振 等离子体源 数值模拟 |
| 收稿时间： | 1999-07-23 |
NUMERICAL SIMULATION OF AN ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA SOURCE |
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| LIU MING-HAI,HU XI-WEI,WU QIN-CHONG,YU GUO-YANG.NUMERICAL SIMULATION OF AN ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA SOURCE[J].Acta Physica Sinica,2000,49(3):497-501. |
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| Authors: | LIU MING-HAI HU XI-WEI WU QIN-CHONG YU GUO-YANG |
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