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用混合的碳和钛等离子体流沉积碳化钛薄膜

引用本文：	李兵.用混合的碳和钛等离子体流沉积碳化钛薄膜[J].等离子体应用技术快报,1998(5):8-9.

作者姓名：	李兵

摘要：
关键词：	碳化钛等离子体沉积薄膜沉积碳离子钛离子
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