| 离轴非球面轮廓测量导轨直线度误差补偿模型 |
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| 引用本文： | 程灏波,王英伟,郑立功,张学军,张忠玉.离轴非球面轮廓测量导轨直线度误差补偿模型[J].光学技术,2003,29(2):211-215. |
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| 作者姓名： | 程灏波 王英伟 郑立功 张学军 张忠玉 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022
2. 长春理工大学,吉林,长春,130022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60108003)，国家杰出青年基金资助项目(69925512) |
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| 摘 要： | 由于研磨阶段非球面的面形误差将由几十微米收敛到几个微米,因此采用高重复精度的离散测量技术是决定误差收敛效率、影响加工进程的关键。在新一代数控光学加工中心(FSGJ Ⅱ)上,设计了双测头对非球面进行面形定量检测的轮廓测量机构。通过对测头运动导轨在x、z方向的直线精度的分析,建立了导轨直线度误差补偿模型,以较低的成本实现了较高的测量精度。
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| 关 键 词： | 离轴非球面 误差补偿 矢高 |
| 文章编号： | 1002-1582(2003)02-0211-05 |
| 修稿时间： | 2002年7月12日 |
Linear error compensation model of profile's guide for off-axis aspherics |
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| Abstract: | The surface error of aspherical mirror during grinding ranges from tens of microns to a few microns. Therefor, quantitative measurement with good repeatability and accuracy is the key to guide rapid material removal in CNC grinding. In the development of the new FSGJ Ⅱ system, a novel profilometer with dual digital length gauge is designed for large departure off axis aspherical mirrors quantitative measurement, the linear accuracy of the guide is analyzed, then, established the error compensation model is established. |
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| Keywords: | off-axis aspherics error compensation sag |
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