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| H_2辉光放电清洗时轰击器壁的离子能量测量与分析 | |
| 引用本文： | 曾建尔,蒋秀芳,姚良骅. H_2辉光放电清洗时轰击器壁的离子能量测量与分析[J]. 核聚变与等离子体物理, 1988, 0(3) |
| 作者姓名： | 曾建尔 蒋秀芳 姚良骅 |
| 作者单位： | 西南物理研究所，西南物理研究所，西南物理研究所 四川 乐山，四川 乐山，四川 乐山 |
| 摘 要： | 一、引言 辉光放电是清洗锻炼环流器真空室器壁的有效手段。H_2辉光放电时,氢离子轰击器壁与器壁中的C和O发生化学反应,生成CH_4,H_2O等气体;同时,这些离子提供能量使得吸附在器壁表面的杂质气体脱附,从而被泵出真空室外,达到清洗锻炼的目的。由于辉光放电时,离子轰击的能量较高,会引起一定的溅射沉积。我们在模拟真空室(六通装置)进行了辉光放电,对各种参数下的离子能量进行了测量,从中找出了离子能量与极间电压(阳极与器壁之间的电压)、放电电流、以及气压、离子流密度之间的某些关系。 |
| 关 键 词： | 辉光放电清洗 离子平均能量 |
MEASUREMENT OF THE ENERGY OF IONS BOMBARDING THE WALL DURING GLOW DISCHARGE CLEANING |
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| ZENG Jianer JIANG Xiufang YAO Lianghua. MEASUREMENT OF THE ENERGY OF IONS BOMBARDING THE WALL DURING GLOW DISCHARGE CLEANING[J]. Nuclear Fusion and Plasma Physics, 1988, 0(3) | |
| Authors: | ZENG Jianer JIANG Xiufang YAO Lianghua |
| Abstract: | The paper presents the results of measurement of ion streaming energy during hydrogen glow discharge cleaning. It is found that the mean ion energy depends on the voltage, the pressure, and especially, strongly on the ion current density. The ion energy is approximately proportional to the ion current density for the whole ranges of the other parameters. |
| Keywords: | Glow discharge cleaning Mean ion energy. |
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