| 单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜摩擦性能的研究 |
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| 引用本文： | 朱宏,刘惠文.单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜摩擦性能的研究[J].摩擦学学报,1995,15(2):118-125. |
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| 作者姓名： | 朱宏 刘惠文 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室，中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室 |
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| 摘 要： | 目前，制备类金刚石薄膜的方法很多，然而其中的多数在沉积过程中都需要基本具有比较高的温度，这不不可避免地会对耐温性较差的材料造成损伤，或使机械零部件发生变形和尺寸变化，因此，利用单源低能离子束辅助沉积法制备了非晶碳薄膜，并且利用喇曼光谱和俄歇电子能谱研究了薄膜的结构，发现了其为无定形的类金刚石薄膜，薄膜中的碳原子成键主要ｓｐ＾２杂化键，研究表明，随着离子能量和束流的增大，薄膜的显微硬度，摩擦系数和寿
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| 关 键 词： | 离子束辅助沉积 类金刚石薄膜 摩擦性能 |
Tribological Properties of Diamond Like Carbon Film Prepared by Low Energy lon Beam Assisted Deposition with a Single lon Source |
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| Zhu Hong,Liu Xianghuai,Ren Congxin,Zou Shichang.Tribological Properties of Diamond Like Carbon Film Prepared by Low Energy lon Beam Assisted Deposition with a Single lon Source[J].Tribology,1995,15(2):118-125. |
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| Authors: | Zhu Hong Liu Xianghuai Ren Congxin Zou Shichang |
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| Institution: | Zhu Hong; Liu Xianghuai;Ren Congxin;Zou Shichang(Ion Beam Laboratory Shanghai Institute of Metallurgy Chinese Academy of Sciences Shanghai 200050 China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ion beam assisted deposition diamond like film tribological properties |
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