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微模塑法制备PMMA/SiO2二氧化硅杂化材料微结构
引用本文:刘建平,郭斌,何平笙,张其锦.微模塑法制备PMMA/SiO2二氧化硅杂化材料微结构[J].化学物理学报,2004,17(6):779-782.
作者姓名:刘建平  郭斌  何平笙  张其锦
作者单位:中国科学技术大学高分子科学与工程系,中国科学技术大学高分子科学与工程系,中国科学技术大学高分子科学与工程系,中国科学技术大学高分子科学与工程系 合肥230026 华东交通大学基础科学院,南昌330013,合肥230026,合肥230026,合肥230026
基金项目:ProjectsupportedbytheNationalNaturalScienceFoundationofChina (2 0 174 0 38) .
摘    要:以摩尔比为 1∶1的甲基丙烯酸甲酯 (MMA)、甲基丙烯酸 (3 三乙氧基硅烷基 )丙酯 (ESMA)单体、0 .2 %(单体总量的质量分数 )的偶氮二异丁腈AIBN引发剂和四氢呋喃 (THF)溶剂 ,及 2 0 % (总质量分数 )的正硅酸乙酯TEOS合成出PMMA/SiO2 有机 无机杂化的杂化溶胶 .将溶胶在洗净的普通光学玻璃基片表面甩膜 .利用软刻蚀中的微模塑法 ,把有机硅弹性印章复制有精细图纹一面轻放在杂化溶胶膜上进行微模塑 ,外加 1N压力于12 0℃下处理 2h使溶胶凝胶化 .印章剥离后在基片表面就形成了PMMA/SiO2 有机 无机杂化材料的微图纹结构 .从微图纹的光学显微镜照片可以看出微模塑方法制备杂化材料复制的图纹精细度高 ,操作简单易行 ,是一类比较理想的微细图纹结构加工的方法 .

关 键 词:软刻蚀  微模塑  PMMA/SiO2  杂化
收稿时间:2003/7/10 0:00:00

Microstructure of PMMA/SiO2 Hybrid Material Fabricated by Micromolding
Liu Jianping,Guo Bin,He Pingsheng and Zhang Qijin.Microstructure of PMMA/SiO2 Hybrid Material Fabricated by Micromolding[J].Chinese Journal of Chemical Physics,2004,17(6):779-782.
Authors:Liu Jianping  Guo Bin  He Pingsheng and Zhang Qijin
Institution:Liu Jianping a,b,Guo Bina,He Pingsheng a**,Zhang Qijina
Abstract:
Keywords:Soft lithography  Micromolding  PMMA/SiO_2  Hybrid
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