| 大尺寸氧化铝陶瓷导轨超精研抛工艺研究 |
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| 引用本文： | 刘剑,蔡黎明,成贤锴,顾国刚,于涌.大尺寸氧化铝陶瓷导轨超精研抛工艺研究[J].中国光学,2019(3):663-669. |
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| 作者姓名： | 刘剑 蔡黎明 成贤锴 顾国刚 于涌 |
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| 作者单位： | 长春理工大学;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
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| 基金项目： | 苏州市应用基础研究项目(No.SYG201322)~~ |
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| 摘 要： | 为了提高氧化铝陶瓷导轨超精密研抛加工的工作效率,分析了研抛压力、研抛速度以及磨料添加间隔等工艺参数与研磨抛光效率的关系。首先,根据氧化铝陶瓷导轨的特性及物理参数,确定研磨抛光盘以及磨料的选型。然后以高精度平面平晶作为检测工具,平晶与导轨表面形成干涉条纹,利用条纹的数量定量表征研抛效果。最终得到氧化铝陶瓷导轨的最佳工艺参数:每个研抛压力应该控制在40 N;研抛线速度为45 m/min;研磨剂的添加时间为30 min。在同等时间内,应用此套工艺参数可以达到更高的面型精度。
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| 关 键 词： | 高精度 陶瓷导轨 超精研抛 |
Ultra-precision grinding and polishing method of large-scale Al2O3 ceramic guides |
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| LIU Jian,CAI Li-ming,CHENG Xian-kai,GU Guo-gang,YU Yong.Ultra-precision grinding and polishing method of large-scale Al2O3 ceramic guides[J].Chinese Optics,2019(3):663-669. |
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| Authors: | LIU Jian CAI Li-ming CHENG Xian-kai GU Guo-gang YU Yong |
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| Institution: | (Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China;Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;Suzhou Institute of Biomedical Engineering and Technology,Chinese Academy of Sciences,Suzhou 215163,China) |
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| Abstract: | LIU Jian;CAI Li-ming;CHENG Xian-kai;GU Guo-gang;YU Yong(Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China;Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;Suzhou Institute of Biomedical Engineering and Technology,Chinese Academy of Sciences,Suzhou 215163,China) |
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| Keywords: | high-precision ceramic guides ultra-precision polishing |
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