| 利用数字散斑相关法测定聚酰亚胺/SiO2合成薄膜的力学性能 |
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| 作者姓名： | 董萼良 康新陈凡秀 林保平何小元 |
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| 作者单位： | 1. 东南大学 工程力学系, 南京 210096
2. 东南大学 化学化工系, 南京 210096 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(10072017),科技部“863”计划(2002AA404140)资助项目 |
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| 摘 要： | 聚酰亚胺 /SiO2 合成薄膜是一种具有优良力热光电性能的薄膜材料,在MEMS工艺中具有广阔的应用前景,其力学性能测量的研究具有非常重要的意义。本文将数字散斑相关技术和微拉伸试验相结合,对厚度为 37μm的聚酰亚胺(polyimide) /二氧化硅(SiO2 )合成薄膜进行了力学性能测量,获得了比较满意的结果。文章给出了测得的弹性模量和泊松比。为了解决数字散斑相关法不能直接测量较大变形的缺陷,本文提出了多级相关算法,并利用亚像素搜索和双线性插值进行了数据处理。
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| 关 键 词： | 数字散斑相关法 聚酰亚胺/SiO2 薄膜 力学性能 |
| 文章编号： | 1001-4888(2005)01-0109-06 |
| 修稿时间： | 2004-01-08 |
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