| 三维电子束云纹法 |
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| 作者姓名： | 温辉辉 花韬 李传崴 刘战伟 谢惠民 |
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| 作者单位： | 北京理工大学 宇航学院力学系, 北京 100081;西安飞行自动控制研究所, 陕西 710065;清华大学 航天航空学院力学系, 北京 100084;北京理工大学 宇航学院力学系, 北京 100081;清华大学 航天航空学院力学系, 北京 100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(Nos.11232008, 11372037); 教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-12-0036)的资助 |
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| 摘 要： | 三维电子束(3D电子束)云纹法是一种微尺度三维变形测量方法。该方法通过在试件表面制作高密度光栅,结合双目视觉立体成像技术,在SEM中形成两个角度的电子束云纹图,即可分析获得三维变形信息。考虑到离面变形与面内变形计算时的相互耦合关系,本文对现有的3D电子束云纹法进行了进一步发展,系统推导了3D电子束云纹法的通用理论公式。利用变形前后不同角度拍摄的电子束云纹图,可分别迭代计算出面内变形、离面变形和形貌等信息。对全息光栅鼓泡变形的验证实验证明了本文发展的3D电子束云纹法理论的正确性。
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| 关 键 词： | 三维电子束云纹法 三维形貌 立体成像技术 面内变形 |
| 收稿时间： | 2014-10-14 |
| 修稿时间： | 2014-11-23 |
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