| 聚酰亚胺LB膜真空热解制备β-SiC膜的STM观察 |
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| 引用本文： | 金邦坤,丛树昕,何平笙.聚酰亚胺LB膜真空热解制备β-SiC膜的STM观察[J].高等学校化学学报,2002,23(9):1826-1828. |
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| 作者姓名： | 金邦坤 丛树昕 何平笙 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学高分子科学与工程系,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (批准号 :2 99740 2 8)资助 |
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| 摘 要： | 扫描隧道显微镜 ( STM)是一种基于量子隧道效应对样品进行高分辨无损测试的表面测试技术 1] ,它可以在原子水平上反映表面分子或原子的排列分布情况 ,在物理、化学、生物和微电子界受到高度的重视 .STM技术以及其后发展起来的原子力显微镜 ( AFM)特别适合 LB膜的研究 ,能直观地反映出 LB膜中分子排列的微观结构以及表面缺陷 2 ,3] .我们曾通过真空热解沉积在单晶硅片上的聚酰亚胺L B膜制得了准单晶β- Si C超薄膜 4～ 6 ] .本文利用 STM技术对聚酰亚胺 LB膜以及由它真空热解而成的 Si C膜的表面形态结构进行了初步观察和分析 .…
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| 关 键 词： | 聚酰亚胺 LB膜 真空热解 制备 β－SiC膜 扫描隧道显微镜 表面形态结构 碳化硅膜 |
| 文章编号： | 0251-0790(2002)09-1826-03 |
STM Study of Polyimide LB Film and Its Pyrolyzed SiC Film |
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| Abstract: | The surface morphologies of polyimide LB film and the SiC film pyrolyzed from polyimide LB film were studied with STM technique. The results show that molecular chains of polyimide LB film are highly oriented in certain scale, the SiC film keeps the similar regular structure to that of polyimide LB film, suggesting that the SiC formation reaction proceeds on the basis of the lattice of polyimide molecules. |
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| Keywords: | Polyimide Langmuir\|Blodgett(LB) film SiC film STM |
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