| 一种薄膜温度传感器的研制与性能试验 |
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| 引用本文： | 虎刚,董光能.一种薄膜温度传感器的研制与性能试验[J].摩擦学学报,1995,15(4):355-360. |
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| 作者姓名： | 虎刚 董光能 |
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| 作者单位： | 西安交通大学润滑理论及轴承研究所，华中理工大学机械学院信息研究所 |
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| 摘 要： | 以射频溅射法分别溅射沉积的Ａｌ２Ｏ３和ＭｇＯ复合层作为绝缘匪，以真空蒸镀的钛膜作为温度敏感膜和以溅射Ａｌ２Ｏ３膜作为保护膜，研制成功了一种宽度为１５μｍ的薄膜温度传感器。测试结果表明，复合层绝缘膜的绝缘性能明显地比Ａｌ２Ｏ３绝缘膜的好，经过同样的热处理后，前者能够保持其２０ＭΩ以上的电阻基本不变，而后者则由２０ＭΩ以上降低到１ｋΩ以下。在给定的试验条件下，这种传感器对温度及作用时间的信号响应敏感，
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| 关 键 词： | 薄膜 温度 传感器 试验 制造 |
Development and performance Test of a Thin-Film Temperature TranSducer |
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| Hu Gang,Dong Guangneng,Xie Youbai.Development and performance Test of a Thin-Film Temperature TranSducer[J].Tribology,1995,15(4):355-360. |
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| Authors: | Hu Gang Dong Guangneng Xie Youbai |
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| Institution: | Theory of Lubrication and Bearing Institute Xi'an Jlaotong Universtty Xi'an 710049 China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thin-film temperature transducer lubrication test frictional temperature rise |
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