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| 长波长垂直腔面发射激光器研究 | |
| 引用本文： | 谢正生, 吴惠桢, 劳燕锋, 刘成, 曹萌, 曹春芳. 长波长垂直腔面发射激光器研究[J]. 物理, 2007, 36(04): 306-312. |
| 作者姓名： | 谢正生 吴惠桢 劳燕锋 刘成 曹萌 曹春芳 |
| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 |
| 摘 要： | 垂直腔面发射激光器（简称VCSEL）近年来受到了国内外科技界和企业界的高度关注,它在光通信领域具有潜在的应用.文章主要介绍了长波长垂直腔面发射激光器的发展历史、基本应用、器件结构、材料和制备工艺,最后分析了研制长波长VCSEL所遇到的问题及相应解决方法,并进行了展望. |
| 关 键 词： | 垂直腔面发射激光器（VCSEL） 布拉格反射镜（DBR） 有源层 键合 隧道结 |
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