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原子层沉积制备纳米催化剂研究进展
作者姓名:裴永丽  郭长江  张宁  权燕红  任军
作者单位:太原理工大学 省部共建煤基能源清洁高效利用国家重点实验室,山西 太原 030024;太原理工大学 煤科学与技术教育部重点实验室,山西 太原 030024;陕西东鑫垣化工有限责任公司,陕西 榆林 719400
基金项目:国家自然科学基金;山西省自然科学基金
摘    要:
纳米催化正在面临技术上的革命,对金属纳米颗粒的尺寸分布及形貌结构等的精准控制提出了更高的要求,原子层沉积(ALD)由于可实现原子尺度的精准控制而为这一问题的解决提供了参考.本文综述了ALD技术在纳米催化中的研究进展,回顾了ALD的发展历史、基本原理和主要设备及工艺,介绍了ALD常见底物及得到的催化剂结构类型.重点阐述了...

关 键 词:纳米催化  原子层沉积  尺寸效应  限域效应  多重复杂结构
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