| 刻线镍膜上沉积的碳纳米管场发射特性 |
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| 引用本文： | 樊志琴,张兵临,姚宁,鲁占灵,杨仕娥,马丙现,邓记才.刻线镍膜上沉积的碳纳米管场发射特性[J].发光学报,2004,25(6):743-747. |
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| 作者姓名： | 樊志琴 张兵临 姚宁 鲁占灵 杨仕娥 马丙现 邓记才 |
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| 作者单位： | 郑州大学,材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052;郑州工程学院,数理系,河南,郑州,450052;郑州大学,材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052 |
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| 基金项目： | 河南省科技攻关项目资助项目(0324220160) |
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| 摘 要： | 利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法，在刻线的镍膜上沉积碳纳米管膜。通过SEM和拉曼光谱表征，讨论了催化剂厚度、制备温度、反应时间以及甲烷浓度对碳纳米管场发射的影响。结果表明：不同条件下制备的碳纳米管的场发射性能有很大差异，保持氢气的流量(100sccm)不变，当甲烷流量为5sccm、生长时间为5min、催化剂膜厚为150nm、温度为700～800℃时，场发射性能最好，开启场强为1．3V／um，最大发射电流达到6．8mA／cm^3。
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| 关 键 词： | 碳纳米管 微波等离子体化学气相沉积 场发射 拉曼光谱 |
| 文章编号： | 1000-7032(2004)06-0743-05 |
| 修稿时间： | 2004年1月4日 |
Field Emission Properties of Carbon Nanotubes Films Grown on Patterned Ni Lines |
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| FAN Zhi-qin.Field Emission Properties of Carbon Nanotubes Films Grown on Patterned Ni Lines[J].Chinese Journal of Luminescence,2004,25(6):743-747. |
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| Authors: | FAN Zhi-qin |
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| Institution: | FAN Zhi-qin~ |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | carbon nanotubes (CNTs) MWPCVD field electron emission Raman spectrum |
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