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| 利用纯驻波和混杂表面波的大面积高密度等离子体激发 | |
| 引用本文： | 马丁.利用纯驻波和混杂表面波的大面积高密度等离子体激发[J].等离子体应用技术快报,2000(2):10-12. |
| 作者姓名： | 马丁 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 超大规模集成器件 等离子体加工 大面积 高密度 等离子体激发 纯驻波 混杂表面波 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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