| 离子注入层的X射线光电子能谱分析 |
| |
| 引用本文： | 杨建华.离子注入层的X射线光电子能谱分析[J].光谱实验室,2001,18(3):398-400. |
| |
| 作者姓名： | 杨建华 |
| |
| 作者单位： | 南通工学院 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金!(5 96 710 5 1)，南通工学院资助项目!(代号 :0 110 7) |
| |
| 摘 要： | 采用金属蒸汽真空弧（MEVVA）离子源发出的强束流脉冲钨离子，对H13钢进行了离子注入表面改性研究，借助X射线光电子能谱（XPS）考察了注入表面层中钨，氧，铁的化学状态，研究发现，钨离子注入层中钨元素以替位钨和三氧化钨形式存在，铁元素以金属铁和三氧化二铁形式出现，而且各价态元素的原子比随深度而变化。
|
| 关 键 词： | X射线光电子能谱 离子注入 H13钢 表面改性 离子注入层 钨离子 |
| 文章编号： | 1004-8138(2001)03-0398-03 |
| 修稿时间： | 2001年2月19日 |
XPS Analysis of Ion Implantation Layer |
| |
| YANG Jian-Hua.XPS Analysis of Ion Implantation Layer[J].Chinese Journal of Spectroscopy Laboratory,2001,18(3):398-400. |
| |
| Authors: | YANG Jian-Hua |
| |
| Abstract: | W ions extracted from a metal vapor vacuum arc ion source were implanted into H13 steel,with an implantation dose of 3×1017cm-2,extraction acceleration 30kV,and average ion beam flux about 15μA*cm-2.Observation of chemical structure of W,Fe, O elements in H13 steel was carried out by X-ray photoelectron spectroscopy（XPS）.Experimental results show that the oxidation of Fe is lightened after W ion implantation.The oxidation mechanisms of H13 was discussed according to the experimental results. |
| |
| Keywords: | X\|Ray Photoelectron Spectroscopy Ion Implantation Oxidation |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
