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Characterization of Uncooled Poly SiGe Microbolometer for Infrared Detection
摘 要：
关 键 词：
红外探测
微辐射热计
聚乙烯薄膜
锗化硅
SiGe
UHVCVD
超真空化学气相沉积
卢瑟福散射光谱
结构特征
拉曼光谱
硅显微机械加工技术
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