| 表面钝化前后Al0.22Ga0.78N/GaN异质结势垒层应变的高温特性 |
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| 引用本文： | 张开骁,陈敦军,沈波,陶亚奇,吴小山,徐金,张荣,郑有炓. 表面钝化前后Al0.22Ga0.78N/GaN异质结势垒层应变的高温特性[J]. 物理学报, 2006, 55(3) |
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| 作者姓名： | 张开骁 陈敦军 沈波 陶亚奇 吴小山 徐金 张荣 郑有炓 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);中国科学院资助项目;国家自然科学基金;国家科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)研究了表面钝化前后Al0.22Ga0.78N/GaN异质结势垒层应变的高温特性,温度变化范围从室温到813K.结果表明,对未钝化的异质结,当测试温度高于523K时,Al0.22Ga0.78N势垒层开始出现应变弛豫;钝化后,在Al0.22Ga0.78N势垒层中会产生一个附加的平面拉伸应变,并随着温度的增加,势垒层中的平面拉伸应变会呈现出一个初始的增加,接着应变将减小,对100nm厚的Al0.22Ga0.78N势垒层,应变只是轻微地减小,但对于50nm厚的Al0.22Ga0.78N势垒层,则出现了严重的应变弛豫现象.
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| 关 键 词： | Al0.22Ga0.78N/GaN异质结 应变 Si3N4钝化 高温XRD |
The effects of passivation and temperature on the barrier strain of Al0.22Ga0. 78N/GaN heterostructures |
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| Zhang Kai-Xiao,Chen Dun-Jun,Shen Bo,Tao Ya-Qi,Wu Xiao-Shan,Xu Jin,Zhang Rong,Zheng You-Dou. The effects of passivation and temperature on the barrier strain of Al0.22Ga0. 78N/GaN heterostructures[J]. Acta Physica Sinica, 2006, 55(3) |
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| Authors: | Zhang Kai-Xiao Chen Dun-Jun Shen Bo Tao Ya-Qi Wu Xiao-Shan Xu Jin Zhang Rong Zheng You-Dou |
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